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产品展示

二氯二氢硅,二氯硅烷

产品型号:40L

产品摘要

1.别名·英文名 二氯硅烷;DichIorosilane. 2.用途: 电子气、外延、化学气相淀积。 3.制法: (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。 (2)在高温下,硅与氢及氯化氢反应,再精馏提纯
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详细介绍

二氯二氢硅,二氯硅烷无色,剧毒,腐蚀性,易燃烧的液化气体,带有刺激性的盐酸味。 应用 半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。 分子量 101.01 比重 (Air = 1) 3.52 比容 0.239m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa< 气味 刺激性,令人窒息 CAS Registry No. 4109-96-0 包装:2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存,并统一采用不锈钢瓶阀。

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