三氟化磷(PF3) | |
化学式 | PF3 |
中文名称 | 三氟化磷 |
英文名称 | Phosphorus Trifluoride |
CAS No. | 7783-55-3 |
分子量 | 87.969 |
充装量 | |
应用 | 发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。 |
三氟化磷(PF3) 化学式 PF3 中文名称 三氟化磷 英文名称 Phosphorus Trifluoride CAS No. 7783-55-3 分子量 87.969 充装量 应用 发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。
三氟化磷,是一种无机化合物,化学式为PF3,在常温常压下为无色无味的有毒气体,液态时为无色透明液体,空气中不太发烟,相当稳定,加热时与氢反应生成PH3,能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外,不腐蚀玻璃。
产品指标:
产品用途:
三氟化磷是一种重要的化学试剂,在工业和科研领域有着多种用途。在半导体制造过程中,三氟化磷可作为掺杂剂,用于掺杂硅等半导体材料,从而改变其电子特性。
包装、贮存:
三氟化磷充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为10 L、50L、100L等。具体包装规格可根据用户需求定制更改。
储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。防止阳光直射。保持容器密封。应于碱类、氧、氟、食用化学品等分开存放,切记混储。储区应备有泄露应急处理设备。
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