二氟化氙(XeF2) | |
化学式 | XeF2 |
中文名称 | 二氟化氙 |
英文名称 | Xenon difluoride |
CAS No. | 13709-36-9 |
分子量 | 169.289806 |
充装系数 | |
应用 | 在MEMS 的蚀刻工艺中,二氟化氙(XeF2)气态 被用于去除硅的牺牲区域。通常与无水氟化氢(HF)搭配使用。 |
产品规格 | ≥99.999% |
百科:
二氟化氙是一种无色固体,在室温下容易升华而形成大的透明晶体。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭。它是极强的氧化剂,可使许多有机、无机化合物氟化而放出氙,可从氯化氢中释放氯气,将碘化钾氧化成碘。它是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用。
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